在现代工业和科研领域,精确控制物体的位置和移动是至关重要的。电动位移台作为一种实现精确位置控制的装置,被广泛应用于自动化、精密测量、光学成像、半导体制造等多个领域。本文将介绍电动位移台的各项技术参数,以技术科普为主,帮助读者深入理解这一精密机械装置。
电动位移台,又称电动滑台、电动平台或电动平移台,是一种通过电机驱动实现精确位移的设备。它能够沿直线或圆周路径移动负载,实现精确的位置控制。电动位移台的工作原理基于电机的旋转运动转换为直线或旋转运动,通过精密的机械结构实现负载的精确位移。
电动位移台的核心是电机,电机的类型直接影响位移台的性能。常见的电机类型有步进电机和伺服电机。
步进电机
步进电机是一种将电脉冲信号转换为角位移的电机。它通过控制脉冲的数量、频率和方向来实现精确的角位移控制。步进电机的主要优点包括结构简单、成本较低、控制方便。步进电机的步距角越小,其分辨率越高,但同时也意味着需要更多的脉冲来实现相同的位移,可能会影响速度。
步进电机按照相数可划分为两相步进电机、三相步进电机、四相步进电机、五相步进电机四种,两相步进电机可提供的步距角为1.8°和0.9°,也就是说1个脉冲可以使两相步进电机旋转1.8°或者0.9°,相数最多的五相步进电机可提供的步距角为0.72°和0.36°,可以提供更高的分辨率和精度。
伺服电机
伺服电机是一种闭环控制电机,它通过编码器反馈信号来实现精确的速度和位置控制。伺服电机的主要优点是高响应速度、高精确度和高稳定性。伺服电机适用于需要快速响应和高精度控制的应用场合。但由于尺寸较大,一般很少应用在常规电动位移台产品线上。
分辨率
分辨率是指电动位移台能够实现的最小位移单位。对于步进电机驱动的位移台,分辨率通常由电机的步距角和细分技术决定。细分技术可以提高步进电机的分辨率,例如,一个1.8°步距角的步进电机,通过16细分技术,可以实现0.1125°的分辨率。但由于步进电机对于角度的分辨是有极限的,很多情况下是分辨不了高细分下的步距角。
步距角:步距角越小,分辨率越高。
细分技术:通过电子细分技术,可以提高步进电机的分辨率(并不是可以无限提高精度)。
精度和重复定位精度是衡量电动位移台性能的重要指标,这也是使用者选择电动位移台产品时主要看重的参数。
精度是指电动位移台在无负载条件下,从同一起始点出发,多次移动到同一目标位置后,实际位置与理论位置之间的偏差。精度受多种因素影响,包括电机的控制精度、机械结构的精度、传动系统的精度等。一般来说,搭载两相步进电机的单向定位精度在15微米左右,重复定位精度在±1μm;搭载高精度五相步进的单向定位精度最高可以达到5微米,重复定位精度最高在±0.2μm。