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Design of Analog CMOS

Integrated Circuits

Behzad Razavi
Professor of Electrical Engineering
University of California, Los Angeles

Boston Burr Ridge, IL Dubuque, IA Madison, WI

New York San Francisco St. Louis
Bangkok Bogota Caracas Lisbon London Madrid Mexico City
Milan New Delhi Seoul Singapore Sydney Taipei Toronto
Contents

About the Author . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...... .... .................... vii

Preface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ......... ......... ....... .... ix
Acknowledgments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . xi

I Introduction to Analog Design . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I

1 .1 Why Analog? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.2 Why Integrated? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1 .3 Why CMOS? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.4 Why This Book? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.5 General Concepts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.5.1 Levels of Abstraction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.5.2 Robust Analog Design . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

2 Basic MOS Device Physics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

2.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1 .1 MOSFET as a Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1 .2 MOSFET Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1 .3 MOS Symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.2 MOS W Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2.1 Threshold Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2.2 Derivation of W Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.3 Second-Order Effects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
2.4 MOS Device Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2.4.1 MOS Device Layout . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2.4.2 MOS Device Capacitances . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
2.4.3 MOS Small-Signal Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
2.4.4 MOS SPICE models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
2.4 .5 NMOS versus PMOS Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
2.4.6 Long-Channel versus Short-Channel Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

xv
xvi Contents

3 Single-Stage Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
3.1 Basic Concepts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
3 .2 Common-Source Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
3.2.1 Common-Source Stage with Resistive Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
3.2.2 CS Stage with Diode-Connected Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
3.2.3 CS Stage with Current-Source Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
3.2.4 CS Stage with Triode Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
3 .2.5 CS Stage with Source Degeneration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
3.3 Source Follower . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
3.4 Common-Gate Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
3 .5 Cascode Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
3.5 .1 Folded Cascode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
3 .6 Choice of Device Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92

4 Differential Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100

4.1 Single-Ended and Differential Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
4 .2 Basic Differential Pair . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
4.2.1 Qualitative Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104
4.2.2 Quantitative Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
4.3 Common-Mode Response . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
4.4 Differential Pair with MOS Loads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
4.5 Gilbert Cell. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126

5 Passive and Active Current Mirrors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135

5 .1 Basic Current Mirrors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
5.2 Cascode Current Mirrors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139
5.3 Active Current Mirrors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
5.3.1 Large-Signal Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
5.3.2 Small-Signal Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . , , , 151
5 .3.3 Common-Mode Properties . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 154

6 Frequency Response of Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166

6.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
6.1.1 Miller Effect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
6.1.2 Association of Poles with Nodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 169
6.2 Common-Source Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 172
6.3 Source Followers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178
6.4 Common-Gate Stage . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183
6 .5 Cascode Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
6.6 Differential Pair . . . . . . . . . . . . . . . . . ... .... ..... .... ..... .... ... ...... 187
Appendix A: Dual of Miller's Theorem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
Contents xvii

7 Noise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201
.
7.1 Statistical Characteristics of Noise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201
7.1 .1 Noise Spectrum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . 203
7.1.2 Amplitude Distribution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ... . . . . . . . . . . . . . . . . . . 206
7.1.3 Correlated and Uncorrelated Sources . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207
7.2 Types of Noise . . . . ., . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 209
7 .2.1 Thermal Noise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 209
7.2.2 Flicker Noise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 215
.
7 .3 Representation of Noise in Circuits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 218
7.4 Noise in Single-Stage Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 224
7.4.1 Common-Source Stage . . . . . . . . . . . . . ., . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225
7.4.2 Common-Gate Stage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 228
7.4.3 Source Followers . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231
7.4.4 Cascode Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232
7.5 Noise in Differential Pairs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233
7.6 Noise Bandwidth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239
8 Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 246
8.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 246
8 .1 .1 Properties of Feedback Circuits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 247
8.1 .2 Types of Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 254
8.2 Feedback Topologies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258
8.2.1 Voltage-Voltage Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258
8.2.2 Current-Voltage Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 263
8.2.3 Voltage-Current Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266
8.2.4 Current-Current Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 269
8.3 Effect of Loading . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270
8 .3.1 Two-Port Network Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270
8 .3.2 Loading in Voltage-Voltage Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 272
8 .3.3 Loading in Current-Voltage Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 275
8.3.4 Loading in Voltage-Current Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 278
8.3.5 Loading in Current-Current Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 281
8.3.6 Summary of Loading Effects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 283
8.4 Effect of Feedback on Noise. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 284

9 Operational Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 291

9.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 291
9.1 .1 Performance Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 291
9 .2 One-Stage Op Amps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 296
9.3 Two-Stage Op Amps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 307
9 .4 Gain Boosting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 309
9.5 Comparison . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 313
9.6 Common-Mode Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 314
 Contents

9.7 Input Range Limitations . .. .. . . . .. .. .. .. .. .. .. . . .. . .. . . .. . . . .. . . . . . . . . 325

9.8 Slew Rate . . . . . . . . . . . . . . .. .. . . ... .. .. .. .. .. .. . . .. . .. . . .. . . . .. . . . . . . . . 326
9 .9 Power Supply Rejection . . . .. . . ... . . . . .. .. . . .. . . . . . .. . . .. . . . .. . . . . . . . . 334
9.10 Noise in Op Amps . . . . . .. .. . . ... .. .. .. .. .. .. . . .. . .. . . .. . . . .. . . . . . . . . 336

10 Stability and Frequency Compensation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 345

10.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 345
10.2 Multipole Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 349
10.3 Phase Margin . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 351
10.4 Frequency Compensation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 355
10.5 Compensation of Two-Stage Op Amps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 361
10.5 .1 Slewing in Two-Stage Op Amps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 368
10.6 Other Compensation Techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 369

11 Bandgap References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 377

11.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 377
11.2 Supply-Independent Biasing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 377
11 .3 Temperature-Independent References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 381
11.3.1 Negative-TC Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 381
11.3.2 Positive-TC Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 382
11 .3.3 Bandgap Reference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 384
11.4 PTAT Current Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 390
11.5 Constant-G~, Biasing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 392
11 .6 Speed and Noise Issues . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 393
11 .7 Case Study . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 397

12 Introduction to Switched-Capacitor Circuits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 405

12.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 405
12.2 Sampling Switches . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 410
12.2.1 MOSFETS as Switches . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 410
12.2.2 Speed Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 414
12.2.3 Precision Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 417
12.2.4 Charge Injection Cancellation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 421
12.3 Switched-Capacitor Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 423
12.3.1 Unity-Gain Sampler/Buffer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 424
12.3.2 Noninverting Amplifier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 432
12.3.3 Precision Multiply-by-Two Circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 438
12.4 Switched-Capacitor Integrator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 439
12.5 Switched-Capacitor Common-Mode Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 442

13 Nonlinearity and Mismatch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 448

13 .1 Nonlinearity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 448
13 .1 .1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 448
 13 .1.2 Nonlinearity ofDifferential Circuits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 452
13 .1.3 Effect of Negative Feedback on Nonlinearity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 454
13 .1.4 Capacitor Nonlinearity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 457
13.1.5 Linearization Techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 458
13.2 Mismatch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 463
13.2.1 Offset Cancellation Techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 471
13.2.2 Reduction of Noise by Offset Cancellation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 476
13.2.3 Alternative Definition of CMRR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 478

14 Oscillators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 482
14.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 482
14.2 Ring Oscillators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 484
14.3 LC Oscillators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 495
14 .3.1 Crossed-Coupled Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 499
14.3.2 Colpitts Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 502
14 .3.3 One-Port Oscillators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 505
14.4 Voltage-Controlled Oscillators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 510
14.4.1 Tuning in Ring Oscillators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 512
14.4.2 Tuning in LC Oscillators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 521
14.5 Mathematical Model of VCOs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 525

15 Phase-Locked Loops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 532

15.1 Simple PLL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 532
15.1.1 Phase Detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 532
15.1.2 Basic PLL Topology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 533
15.1.3 Dynamics ofSimple PLL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 542
15.2 Charge-Pump PLLs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 549
15.2.1 Problem ofLock Acquisition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 549
15 .2.2 Phase/Frequency Detector and Charge Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 550
15 .2.3 Basic Charge-Pump PLL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .556
15 .3 Nonideal Effects in PLLs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 562
15.3.1 PFD/CP Nonidealities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 562
15.3.2 Jitterin PLLs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 567
15.4 Delay-Locked Loops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 569
15.5 Applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 572
15.5.1 Frequency Multiplication and Synthesis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 572
15.5.2 Skew Reduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 574
15.5.3 Jitter Reduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 576

16 Short-Channel Effects and Device Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 579

16.1 Scaling Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 579
16.2 Short-Channel Effects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 583
roc Contents

16.2.1 Threshold Voltage Variation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 583

16.2.2 Mobility Degradation with Vertical Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 585
16.2.3 Velocity Saturation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 587
16.2.4 Hot Carrier Effects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 589
16.2.5 Output Impedance Variation with Drain-Source Voltage . . . . . . . . . . 589
16.3 MOS Device Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 591
16.3.1 Level 1 Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 592
16.3 .2 Level 2 Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 593
16.3 .3 Level 3 Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 595
16.3 .4 BSIM Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 596
16.3.5 Other Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 597
16.3.6 Charge and Capacitance Modeling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 598
16 .3.7 Temperature Dependence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 599
16.4 Process Corners . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 599
16.5 Analog Design in a Digital World . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 600

17 CMOS Processing Technology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 604

17.1 General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 604
17.2 Wafer Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 605
17.3 Photolithography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 606
17.4 Oxidation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 608
17.5 Ion Implantation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 608
17.6 Deposition and Etching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 611
17.7 Device Fabrication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 611
17.7.1 Active Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 611
17.7.2 Passive Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 616
17.7.3 Interconnects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 624
17.8 Latch-Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 627

18 Layout and Packaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 631

18.1 General Layout Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 631
18.1.1 Design Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 632
18.1 .2 Antenna Effect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 634
18.2 Analog Layout Techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 635
18.2.1 Multifinger Transistors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 635
18.2.2 Symmetry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 637
18.2.3 Reference Distribution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 642
18.2.4 Passive Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 644
18.2.5 Interconnects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 653
18.3 Substrate Coupling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 660

Index . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 677