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Robey

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International Conference on “High Performance Computing”
Borovets, Bulgaria, 2019 Ivan Dimov
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High Performance Mechatronics
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 The Design of
High Performance
Mechatronics
High-Tech Functionality by
Multidisciplinary System Integration

3rd revised edition

Robert Munnig Schmidt

Georg Schitter
Adrian Rankers
Jan van Eijk

Delft University Press

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ISBN 978-1-64368-050-7 (print)

ISBN 978-1-64368-051-4 (online)
doi: 10.3233/STAL9781643680514

3rd revised edition, 2020

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Contents

Preface xxi
Motivation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxi
Comments to the Third Edition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxiii
Acknowledgements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxiii
Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxv

1 Mechatronics in the Dutch High-Tech Industry 1

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.1 Historical Background . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.1.1 Video Long-Play Disk (VLP) . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1.1.1 Signal Encoding and Read-Out Principle . . . 4
1.1.1.2 Compact Disc and Digital Optical Recording . 6
1.1.2 Silicon Repeater . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.1.2.1 IC Manufacturing Process . . . . . . . . . . . . 10
1.1.2.2 Highly Accurate Waferstage . . . . . . . . . . . 13
1.1.3 Impact of Mechatronics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.2 Definition and International Positioning . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.1 Different Views on Mechatronics . . . . . . . . . . . . . . 18
1.2.1.1 Main Targeted Application . . . . . . . . . . . . 19
1.2.1.2 Focus on Precision-Controlled Motion . . . . . 21
1.3 Systems Engineering and Design . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
1.3.1 Systems Engineering Methodology . . . . . . . . . . . . 22
1.3.1.1 Product Creation Process . . . . . . . . . . . . . 27
1.3.1.2 Requirement Budgeting . . . . . . . . . . . . . . 29
1.3.1.3 Roadmapping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
1.3.2 Design Methodology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
1.3.2.1 Concurrent Engineering . . . . . . . . . . . . . 33
1.3.2.2 Modular Design and Platforms . . . . . . . . . 35
1.3.2.3 Agile and Scrum . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37

v
vi Contents

2 Applied Physics in Mechatronic Systems 39

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
2.1 Mechanics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2.1.1 Coordinate Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2.1.1.1 Cartesian Coordinate System . . . . . . . . . . 41
2.1.1.2 Generalised Coordinate System . . . . . . . . . 41
2.1.1.3 Modal Coordinate System . . . . . . . . . . . . 42
2.1.2 Force and Motion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
2.1.2.1 Galilei and Newton’s Laws of Motion . . . . . 44
2.1.2.2 Hooke’s Law of Elasticity . . . . . . . . . . . . . 46
2.1.2.3 Lagrange Equations of Motion . . . . . . . . . 48
2.2 Electricity and Magnetism . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
2.2.1 Electric Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
2.2.1.1 Potential Difference and Capacitance . . . . . 52
2.2.1.2 Electric Current in Conductive Material . . . 54
2.2.2 Magnetism and the Maxwell Equations . . . . . . . . . 55
2.2.3 Electric Sources and Elements . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.2.3.1 Voltage Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.2.3.2 Summary on Voltage and Current . . . . . . . 62
2.2.3.3 Electric Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
2.2.3.4 Ohm’s Law . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.2.3.5 Practical Values and Summary . . . . . . . . . 65
2.3 Signal Theory and Wave Propagation . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.3.1 The Concept of Frequency . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.3.1.1 Random Signals or Noise . . . . . . . . . . . . . 70
2.3.1.2 Power of Alternating Signals . . . . . . . . . . 70
2.3.2 Use of Complex Numbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
2.3.2.1 Dynamic Impedance and Ohm’s Law . . . . . 73
2.3.2.2 Power in Dynamic Impedance . . . . . . . . . . 73
2.3.2.3 Capacitive Impedance . . . . . . . . . . . . . . . 75
2.3.2.4 Inductive Impedance . . . . . . . . . . . . . . . 78
2.3.3 Energy Propagation in Waves . . . . . . . . . . . . . . . . 80
2.3.3.1 Mechanical Waves . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.3.3.2 Wave Equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
2.3.3.3 Electromagnetic Waves . . . . . . . . . . . . . . 87
2.3.3.4 Reflection of Waves . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
2.3.3.5 Standing Waves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
2.3.4 Fourier Decomposition of Alternating Signals . . . . . . 93
2.3.4.1 Fourier in the frequency-domain . . . . . . . . 95
2.3.4.2 Triangle Waveform . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
Contents vii

2.3.4.3 Sawtooth Waveform . . . . . . . . . . . . . . . . 97

2.3.4.4 Square Waveform . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
2.3.4.5 Non-Continuous Alternating Signals . . . . . 99
2.4 Dynamic System Analysis and Modelling . . . . . . . . . . . . . 105
2.4.0.1 Laplace-Transform . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
2.4.0.2 Poles and Zeros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
2.4.0.3 Order of a Dynamic System . . . . . . . . . . . 107
2.4.1 Dynamic Responses in the time-domain . . . . . . . . . 108
2.4.1.1 Step Response . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
2.4.1.2 Impulse Response . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
2.4.1.3 Impulse Response and Pole Location . . . . . . 112
2.4.2 Dynamic Responses in the frequency-domain . . . . . . 113
2.4.2.1 Frequency or Fourier-Domain Responses . . . 113
2.4.2.2 Domain Notation of Dynamic Functions . . . 114
2.4.2.3 Frequency Response Plots . . . . . . . . . . . . 115
2.4.2.4 Bode Plot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
2.4.2.5 Nyquist Plot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
2.4.2.6 Limitation to LTI Systems . . . . . . . . . . . . 122

3 Dynamics of Motion Systems 125

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125
3.1 Stiffness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126
3.1.1 Importance of Stiffness for Precision . . . . . . . . . . . 127
3.1.2 Active Stiffness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130
3.2 Mass-Spring Systems with Damping . . . . . . . . . . . . . . . . 134
3.2.1 Dynamic Compliance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
3.2.1.1 Compliance of a Spring . . . . . . . . . . . . . . 135
3.2.1.2 Compliance of a Damper . . . . . . . . . . . . . 136
3.2.1.3 Compliance of a Body . . . . . . . . . . . . . . . 136
3.2.1.4 Dynamic Stiffness . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
3.2.1.5 Lumping the Dynamic Elements . . . . . . . . 137
3.2.2 Transfer Function of Compliance . . . . . . . . . . . . . . 141
3.2.2.1 Damped Mass-Spring System. . . . . . . . . . . 142
3.2.2.2 Magnitude . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144
3.2.2.3 Phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144
3.2.2.4 Bode Plot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146
3.2.3 Effects of Damping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147
3.2.3.1 Damped Resonance and Aperiodic Damping . 148
3.2.3.2 Poles and Critical Damping . . . . . . . . . . . 149
3.2.3.3 Quality-Factor Q and Energy in Resonance . 155
viii Contents

3.2.4 Transmissibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 160

3.2.5 Fourth-Order Dynamic System . . . . . . . . . . . . . . . 164
3.2.5.1 Analytical Description . . . . . . . . . . . . . . . 165
3.2.5.2 Multiplicative Expression . . . . . . . . . . . . 166
3.2.5.3 Effect of Different Mass Ratios . . . . . . . . . 167
3.3 Modal Decomposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 172
3.3.1 Eigenmodes of Two-Body Mass-Spring System . . . . . 173
3.3.2 Theory of Modal Decomposition . . . . . . . . . . . . . . 179
3.3.2.1 Multi Degree of Freedom Equation of Motion 180
3.3.2.2 Eigenvalues and Eigenvectors . . . . . . . . . . 180
3.3.2.3 Modal Coordinates . . . . . . . . . . . . . . . . . 182
3.3.2.4 Resulting Transfer Function . . . . . . . . . . . 183
3.3.3 Graphical Representation of Mode-Shapes . . . . . . . . 185
3.3.3.1 Traditional Representation . . . . . . . . . . . 185
3.3.3.2 Lever Representation . . . . . . . . . . . . . . . 186
3.3.3.3 General System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188
3.3.3.4 User-Defined Physical DOF . . . . . . . . . . . 190
3.3.4 Physical Meaning of Modal Parameters . . . . . . . . . . 193
3.3.4.1 Two-Body Mass-Spring System . . . . . . . . . 194
3.3.4.2 Planar Flexibly Guided System . . . . . . . . . 198
3.3.5 A Pragmatic View on Sensitivity Analysis . . . . . . . . 201
3.3.5.1 Example of Two Body Mass-Spring System . 203
3.3.5.2 Example of Slightly Damped Resonance . . . 205
3.3.6 Suspension and Rigid-Body Modes . . . . . . . . . . . . . 207
3.3.6.1 Quasi Rigid-Body Suspension mode . . . . . . 210
3.4 Mechanical Frequency Response . . . . . . . . . . . . . . . . . . 211
3.4.1 Multiple eigenmodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 211
3.4.2 Characteristic Frequency Responses . . . . . . . . . . . 213
3.4.2.1 Frequency Response Type I . . . . . . . . . . . 217
3.4.2.2 Frequency Response Type II . . . . . . . . . . . 218
3.4.2.3 Frequency Response Type III . . . . . . . . . . 220
3.4.2.4 Frequency Response Type IV . . . . . . . . . . 221
3.4.3 Example Systems with Type I/II/IV Response . . . . . . 223
3.4.3.1 Planar Moving Body on Compliant Spring . . 223
3.4.3.2 H-drive Waferstage . . . . . . . . . . . . . . . . . 229
3.5 Summary on Dynamics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231
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Contents ix

4 Motion Control 233

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233
4.1 A Walk around the Control Loop . . . . . . . . . . . . . . . . . . 235
4.1.1 Poles and Zeros in Motion Control . . . . . . . . . . . . . 237
4.1.2 Overview Feedforward Control . . . . . . . . . . . . . . . 238
4.1.2.1 Summary of Feedforward Control . . . . . . . 239
4.1.3 Overview Feedback Control . . . . . . . . . . . . . . . . . 241
4.1.3.1 Summary of Feedback Control . . . . . . . . . 243
4.2 Feedforward Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 244
4.2.1 Model-Based Feedforward Control . . . . . . . . . . . . . 245
4.2.2 Input-Shaping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 248
4.2.3 Adaptive Feedforward Control . . . . . . . . . . . . . . . 250
4.2.4 Trajectory Profile Generation . . . . . . . . . . . . . . . . 251
4.3 Feedback Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 253
4.3.1 Sensitivity to Input Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . 253
4.3.1.1 Sensitivity Functions . . . . . . . . . . . . . . . 254
4.3.1.2 Real Feedback Error Sensitivity . . . . . . . . 258
4.3.2 Stability and Robustness in Feedback Control . . . . . 259
4.3.2.1 Stability margins . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260
4.4 PID Feedback Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 265
4.4.1 PID-Control of a Compact-Disc Player . . . . . . . . . . 267
4.4.1.1 Relevant Sensitivity Functions . . . . . . . . . 269
4.4.1.2 Proportional Feedback . . . . . . . . . . . . . . 270
4.4.1.3 Proportional-Differential Feedback . . . . . . . 273
4.4.1.4 Limiting the Differentiating Action . . . . . . 275
4.4.1.5 Adding I-Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279
4.4.2 PID-Control of a Spring Supported Mass . . . . . . . . . 281
4.4.2.1 P-Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 283
4.4.2.2 D-Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 284
4.4.2.3 I-Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 285
4.4.2.4 Sensitivity Function Graphs . . . . . . . . . . . 288
4.4.3 Limitations and Side Effects of PID-Feedback Control 290
4.4.3.1 Increased Sensitivity, the Waterbed Effect . . 290
4.4.3.2 Integrator Wind-Up and Delays . . . . . . . . . 291
4.4.4 PID-Control of a Fourth-Order Dynamic System . . . . 297
4.4.4.1 Controlling a Type III Dynamic System . . . . 298
4.4.4.2 Passive Damping . . . . . . . . . . . . . . . . . . 299
4.4.4.3 Shifting the Phase . . . . . . . . . . . . . . . . . 301
4.4.5 PID-Control of a Piezoelectric Actuator . . . . . . . . . . 304
4.4.5.1 Creating a Fourth-Order System . . . . . . . . 305
x Contents

4.4.6 PID-Control of a Magnetic Bearing . . . . . . . . . . . . 306

4.4.6.1 Frequency Response . . . . . . . . . . . . . . . . 306
4.4.6.2 Positive Stiffness by P-Control . . . . . . . . . 308
4.4.6.3 D-Control and Pole Placement . . . . . . . . . . 308
4.4.6.4 I-control for Reduced Sensitivity . . . . . . . . 311
4.4.7 Optimisation by Loop-Shaping Design . . . . . . . . . . 313
4.4.7.1 Optimal Value of Alpha . . . . . . . . . . . . . . 314
4.4.7.2 Additional Low-Pass Filtering . . . . . . . . . . 315
4.4.7.3 Notching Filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 316
4.4.7.4 Peaking and Shelving Filters . . . . . . . . . . 318
4.4.8 Design Steps for PID-control . . . . . . . . . . . . . . . . 319
4.5 Digital Signal Processing - The Z-Domain . . . . . . . . . . . . 320
4.5.1 Continuous Time versus Discrete Time . . . . . . . . . . 320
4.5.2 Sampling of Continuous Signals . . . . . . . . . . . . . . 323
4.5.3 Digital Number Representation . . . . . . . . . . . . . . 324
4.5.3.1 Fixed Point Arithmetic . . . . . . . . . . . . . . 324
4.5.3.2 Floating Point Arithmetic . . . . . . . . . . . . 325
4.5.4 Digital Filter Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 326
4.5.4.1 Z-Transform and Difference Equations . . . . 326
4.5.5 Finite Impulse Response (FIR) Filter . . . . . . . . . . . 328
4.5.6 Infinite Impulse Response (IIR) Filter . . . . . . . . . . 331
4.5.7 Converting Continuous to Discrete-Time Filters . . . . 334
4.6 State-Space Feedback Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 335
4.6.1 State-Space in Relation to Motion Control . . . . . . . . 336
4.6.1.1 Mechanical Dynamic System in State-Space . 338
4.6.1.2 PID-Control Feedback in State-Space . . . . . 342
4.6.2 State Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 344
4.6.2.1 System Identification . . . . . . . . . . . . . . . 346
4.6.2.2 State Estimation . . . . . . . . . . . . . . . . . . 347
4.6.2.3 Additional Remarks on State-Space Control . 349
4.7 Conclusion on Motion Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 350

5 Electromechanic Actuators 353

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 353
5.1 Electromagnetics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 356
5.1.1 Hopkinson’s Law . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 360
5.1.1.1 Practical Aspects of Hopkinson’s Law . . . . . 362
5.1.1.2 Magnetic Energy . . . . . . . . . . . . . . . . . . 362
5.1.2 Ferromagnetic Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 364
5.1.2.1 Coil with Ferromagnetic Yoke . . . . . . . . . . 365
Contents xi

5.1.2.2 Magnetisation Curve . . . . . . . . . . . . . . . 366

5.1.2.3 Permanent Magnets . . . . . . . . . . . . . . . . 367
5.1.3 Creating a Magnetic Field in an Air-Gap . . . . . . . . . 371
5.1.3.1 Optimal Use of Permanent Magnet Material 375
5.1.3.2 Flat Magnets Reduce Fringing Flux . . . . . . 376
5.1.3.3 Low Cost Loudspeaker Magnet . . . . . . . . . 377
5.2 Lorentz Actuator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 378
5.2.1 Lorentz Force . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 378
5.2.1.1 Force from Flux-Linkage . . . . . . . . . . . . . 381
5.2.2 The Lorentz actuator as a Generator . . . . . . . . . . . 382
5.2.3 Improving the Force of a Lorentz Actuator . . . . . . . . 384
5.2.3.1 The Moving-Coil Loudspeaker Actuator . . . . 385
5.2.4 Position Dependency of the Lorentz Force . . . . . . . . 386
5.2.4.1 Over-Hung and Under-Hung Coil . . . . . . . . 386
5.2.5 Electronic Commutation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 388
5.2.5.1 Three-Phase Electronic Control . . . . . . . . . 390
5.2.6 Figures of Merit of a Lorentz Actuator . . . . . . . . . . 392
5.3 Variable Reluctance Actuation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 395
5.3.1 Reluctance Force in Lorentz Actuator . . . . . . . . . . . 395
5.3.1.1 Eddy-Current Ring . . . . . . . . . . . . . . . . . 396
5.3.1.2 Ironless Stator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 397
5.3.2 Analytical Derivation of Reluctance Force . . . . . . . . 398
5.3.3 Variable Reluctance Actuator. . . . . . . . . . . . . . . . . 402
5.3.3.1 Electromagnetic Relay . . . . . . . . . . . . . . . 404
5.3.3.2 Magnetic Attraction Force . . . . . . . . . . . . 405
5.3.4 Permanent Magnet Biased Reluctance Actuator . . . . 407
5.3.4.1 Double Variable Reluctance Actuator . . . . . 407
5.3.4.2 Constant Common Flux . . . . . . . . . . . . . . 409
5.3.4.3 Combining two Sources of Magnetic Flux . . . 410
5.3.4.4 Hybrid Force Calculation . . . . . . . . . . . . . 413
5.3.4.5 Magnetic Bearings . . . . . . . . . . . . . . . . . 415
5.3.5 Active Linearisation of the Reluctance Force . . . . . . 416
5.4 Application of Electromagnetic Actuators . . . . . . . . . . . . . 418
5.4.1 Electrical Interface Properties . . . . . . . . . . . . . . . 418
5.4.1.1 Dynamic Effects of Self-Inductance . . . . . . 418
5.4.1.2 Limitation of the “Jerk” . . . . . . . . . . . . . . 421
5.4.1.3 Electromagnetic Damping . . . . . . . . . . . . 422
5.4.2 Comparison of three Electromagnetic Actuators . . . . 425
5.4.2.1 Force-Constants . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 426
5.4.2.2 Figures of Merit Including Mass . . . . . . . . 428
xii Contents

5.4.2.3 Stiffness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 429

5.4.2.4 Repeatability and Predictability . . . . . . . . 429
5.4.2.5 Dynamic Effects on the Control Loop . . . . . 430
5.5 Piezoelectric Actuators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 431
5.5.1 Piezoelectricity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 431
5.5.1.1 Poling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 432
5.5.1.2 Tapping the Bound Charge by Electrodes . . . 434
5.5.2 Transducer Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 435
5.5.3 Nonlinearity of Piezoelectric Actuators . . . . . . . . . . 438
5.5.3.1 Creep . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 438
5.5.3.2 Hysteresis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 439
5.5.3.3 Aging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 441
5.5.4 Mechanical Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . 441
5.5.4.1 Piezoelectric Actuator Stiffness . . . . . . . . . 442
5.5.4.2 Actuator Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 442
5.5.4.3 Long Range Actuation by Friction . . . . . . . 445
5.5.4.4 Actuator Integration . . . . . . . . . . . . . . . . 446
5.5.4.5 Mechanical Amplification . . . . . . . . . . . . . 447
5.5.4.6 Multiple Motion Directions by Stacking . . . . 448
5.5.5 Electrical Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . 450
5.5.5.1 Charge vs. Voltage Control . . . . . . . . . . . . 450
5.5.5.2 Self-Sensing Actuation . . . . . . . . . . . . . . 451
5.6 Choosing the right Actuator Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . 454

6 Analogue Electronics in Mechatronic Systems 457

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 457
6.1 Passive Linear Electronics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 459
6.1.1 Network Theory and Laws . . . . . . . . . . . . . . . . . . 459
6.1.1.1 Voltage Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 459
6.1.1.2 Current Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 460
6.1.1.3 Theorem of Norton and Thevenin . . . . . . . . 462
6.1.1.4 Kirchhoff’s Laws . . . . . . . . . . . . . . . . . . 463
6.1.1.5 Impedances in Series or Parallel . . . . . . . . 463
6.1.1.6 Voltage Divider . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 464
6.1.1.7 Maximum Power of a Real Voltage Source . . 466
6.1.2 Impedances in Electronic Circuits . . . . . . . . . . . . . 468
6.1.2.1 Resistors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 468
6.1.2.2 Capacitors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 470
6.1.2.3 Inductors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 472
6.1.3 Passive Filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 474
Contents xiii

6.1.3.1 Passive First-Order RC-Filters . . . . . . . . . 474

6.1.3.2 Passive Higher-Order RC-Filters . . . . . . . . 477
6.1.3.3 Passive LCR-Filters . . . . . . . . . . . . . . . . 479
6.1.4 Mechanical-Electrical Dynamic Analogy . . . . . . . . . 485
6.2 Semiconductors and Active Electronics . . . . . . . . . . . . . . 489
6.2.1 Basic Discrete Semiconductors . . . . . . . . . . . . . . . 490
6.2.1.1 Semiconductor Diode . . . . . . . . . . . . . . . 493
6.2.1.2 Bipolar Transistors . . . . . . . . . . . . . . . . 496
6.2.1.3 MOSFET . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 499
6.2.1.4 Other Discrete Semiconductors . . . . . . . . . 501
6.2.2 Single Transistor Linear Amplifiers . . . . . . . . . . . . 504
6.2.2.1 Emitter Follower . . . . . . . . . . . . . . . . . . 504
6.2.2.2 Voltage Amplifier . . . . . . . . . . . . . . . . . . 507
6.2.2.3 Differential Amplifier . . . . . . . . . . . . . . . 509
6.2.3 Operational Amplifier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 512
6.2.3.1 Basic Operational Amplifier Design . . . . . . 512
6.2.3.2 Operational Amplifier with Feedback . . . . . 514
6.2.4 Linear Amplifiers with Operational Amplifiers . . . . . 515
6.2.4.1 Design Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 516
6.2.4.2 Non-Inverting Amplifier . . . . . . . . . . . . . 516
6.2.4.3 Inverting Amplifier . . . . . . . . . . . . . . . . . 518
6.2.4.4 Adding and Subtracting Signals . . . . . . . . 519
6.2.4.5 Transimpedance Amplifier . . . . . . . . . . . . 522
6.2.4.6 Transconductance Amplifier . . . . . . . . . . . 523
6.2.5 Active Electronic Filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 527
6.2.5.1 Integrator and First-Order Low-Pass . . . . . 527
6.2.5.2 Differentiator and First-Order High-Pass . . . 529
6.2.6 Analogue PID-Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 531
6.2.6.1 PID Transfer Function . . . . . . . . . . . . . . 532
6.2.6.2 PID Control Gains . . . . . . . . . . . . . . . . . 534
6.2.6.3 High-Speed PID-Control . . . . . . . . . . . . . 535
6.2.7 Higher-order Electronic Filters . . . . . . . . . . . . . . . 535
6.2.7.1 Second-Order Low-Pass Filter . . . . . . . . . . 537
6.2.7.2 Different Types of Active Filters . . . . . . . . 538
6.2.8 Ideal and Real Operational Amplifiers . . . . . . . . . . 539
6.2.8.1 Open-Loop Voltage Gain . . . . . . . . . . . . . 541
6.2.8.2 Dynamic Limitations . . . . . . . . . . . . . . . 541
6.2.8.3 Input Related Limitations . . . . . . . . . . . . 546
6.2.8.4 Power Supply and Output Limitations . . . . 549
6.2.9 Closing Remarks on Low-Power Electronics . . . . . . . 550
xiv Contents

6.3 Power Amplifiers for Motion Control . . . . . . . . . . . . . . . . 552

6.3.1 Required Properties for Actuator Drive . . . . . . . . . . 553
6.3.1.1 Power Delivery Capability . . . . . . . . . . . . 554
6.3.1.2 Dynamic Properties . . . . . . . . . . . . . . . . 554
6.3.1.3 Linearity, Freedom of Distortion . . . . . . . . 555
6.3.1.4 Voltage or Current Drive . . . . . . . . . . . . . 555
6.3.1.5 Efficiency . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 556
6.3.1.6 Four-Quadrant Operation . . . . . . . . . . . . 557
6.3.1.7 Preferred Power Amplifier Principle . . . . . . 557
6.3.2 Switched-Mode Power Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . 560
6.3.2.1 Power MOSFET, a Fast High-Power Switch . 561
6.3.2.2 Switching Sequence Generation . . . . . . . . . 564
6.3.2.3 Voltage Drive Amplifier . . . . . . . . . . . . . . 566
6.3.2.4 Energy Flow in the Power Output Stage . . . 570
6.3.2.5 Intermediate Conclusions and Other Issues . 574
6.3.2.6 Driving the Power MOSFETs . . . . . . . . . . 575
6.3.2.7 Charge Pumping . . . . . . . . . . . . . . . . . . 577
6.3.2.8 H-Bridge Configuration . . . . . . . . . . . . . . 578
6.3.2.9 Output Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 580
6.3.3 Resonant-Mode Power Amplifiers . . . . . . . . . . . . . 581
6.3.3.1 Switching Sequence of the Output Stage . . . 582
6.3.3.2 Lossless Current Sensing . . . . . . . . . . . . . 586
6.3.4 Three-Phase Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 587
6.3.4.1 Concept of Three-Phase Amplifier . . . . . . . 588
6.3.4.2 Three-Phase Switching Power Stages . . . . . 589
6.3.5 Some Last Remarks on Power Electronics . . . . . . . . 590

7 Optics in Mechatronic Systems 593

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 593
7.1 Properties of Light and Light Sources . . . . . . . . . . . . . . . 595
7.1.1 Light Generation by Thermal Radiation . . . . . . . . . 596
7.1.2 Photons by Electron Energy State Variation . . . . . . . 597
7.1.2.1 Light Emitting Diodes . . . . . . . . . . . . . . . 599
7.1.2.2 Laser as an Ideal Light Source . . . . . . . . . 600
7.1.3 Useful Power from a Light Source . . . . . . . . . . . . . 604
7.1.3.1 Radiant Emittance and Irradiance . . . . . . . 605
7.1.3.2 Radiance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 605
7.1.3.3 Etendue . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 608
7.2 Reflection and Refraction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 609
7.2.1 Reflection and Refraction according to the Least Time 610
Contents xv

7.2.1.1 Partial Reflection and Refraction . . . . . . . . 613

7.2.2 Concept of Wavefront . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 614
7.2.2.1 A Wavefront is Not Real . . . . . . . . . . . . . . 615
7.3 Geometric Optics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 617
7.3.1 Imaging with Refractive Lens Elements . . . . . . . . . 617
7.3.1.1 Sign Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . 619
7.3.1.2 Real Lens Elements . . . . . . . . . . . . . . . . 620
7.3.1.3 Magnification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 623
7.3.2 Aberrations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 625
7.3.2.1 Spherical Aberration . . . . . . . . . . . . . . . 625
7.3.2.2 Astigmatism . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 627
7.3.2.3 Coma . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 629
7.3.2.4 Geometric and Chromatic Aberrations . . . . 629
7.3.3 Combining Multiple Optical Elements . . . . . . . . . . 631
7.3.3.1 Combining Two Positive Lenses . . . . . . . . . 632
7.3.4 Aperture Stop and Pupil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 635
7.3.5 Telecentricity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 636
7.3.5.1 Pupil, Aperture and Lens Dimensions . . . . . 638
7.3.5.2 Practical Applications and Constraints . . . . 638
7.4 Physical Optics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 640
7.4.1 Polarisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 640
7.4.1.1 Birefringence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 642
7.4.2 Interference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 644
7.4.2.1 Fabry-Perot Interferometer . . . . . . . . . . . 646
7.4.3 Diffraction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 648
7.4.3.1 Amplitude gratings . . . . . . . . . . . . . . . . 649
7.4.3.2 Phase Gratings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 651
7.4.3.3 Direction of the Incoming Light . . . . . . . . . 658
7.4.4 Imaging Quality based on Diffraction . . . . . . . . . . . 658
7.4.4.1 Numerical Aperture and f-Number . . . . . . . 662
7.4.4.2 Depth of Focus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 665
7.5 Adaptive Optics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 668
7.5.1 Thermal Effects in Optical Imaging Systems . . . . . . 668
7.5.2 Correcting the Wavefront . . . . . . . . . . . . . . . . . . 670
7.5.2.1 Zernike Polynomials . . . . . . . . . . . . . . . . 671
7.5.2.2 Correcting Zernikes by Adaptive Optics . . . . 675
7.5.3 Adaptive Optics Principle of Operation . . . . . . . . . . 676
7.5.3.1 Active Mirrors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 678
xvi Contents

8 Measurement in Mechatronic Systems 683

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 683
8.0.1 Measurement Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 684
8.0.2 Errors in Measurement Systems, Uncertainty . . . . . 685
8.0.2.1 Uncertainty in Traceable Measurements . . . 687
8.0.3 Functional Model of a Measurement System Element 689
8.1 Dynamic Error Budgeting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 691
8.1.1 Error Statistics in Repeated Measurements . . . . . . . 691
8.1.2 The Normal Distribution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 692
8.1.3 Combining Different Error Sources . . . . . . . . . . . . 694
8.1.4 Power Spectral Density and Cumulative Power . . . . . 695
8.1.5 Do not use the Cumulative Amplitude Spectrum! . . . 698
8.1.6 Variations in Dynamic Error Budgeting . . . . . . . . . 698
8.1.7 Sources of Noise and Disturbances . . . . . . . . . . . . . 699
8.1.7.1 Mechanical Noise . . . . . . . . . . . . . . . . . . 699
8.1.7.2 Electronic Noise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 700
8.2 Sensor Signal Sensitivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 703
8.2.1 Sensing Element . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 704
8.2.2 Converting an Impedance into an Electric Signal . . . 705
8.2.2.1 Wheatstone Bridge . . . . . . . . . . . . . . . . . 706
8.2.3 Electronic Interconnection of Sensitive Signals . . . . . 712
8.2.3.1 Magnetic Disturbances . . . . . . . . . . . . . . 712
8.2.3.2 Capacitive Disturbances . . . . . . . . . . . . . 714
8.2.3.3 Ground Loops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 716
8.3 Signal Conditioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 718
8.3.1 Instrumentation Amplifier . . . . . . . . . . . . . . . . . . 718
8.3.2 Filtering and Modulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . 721
8.3.2.1 AM with Square Wave Carrier . . . . . . . . . 722
8.3.2.2 AM with Sinusoidal Carrier . . . . . . . . . . . 723
8.4 Signal Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 726
8.4.1 Schmitt Trigger . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 726
8.4.2 Digital Representation of Measurement Data . . . . . . 727
8.4.2.1 Gray Code . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 728
8.4.2.2 Sampling of Analogue Values . . . . . . . . . . 730
8.4.2.3 Nyquist-Shannon Theorem . . . . . . . . . . . . 731
8.4.2.4 Filtering to Prevent Aliasing . . . . . . . . . . . 734
8.4.3 Analogue-to-Digital Converters . . . . . . . . . . . . . . . 735
8.4.3.1 Dual-Slope ADC . . . . . . . . . . . . . . . . . . 735
8.4.3.2 Successive-Approximation ADC . . . . . . . . . 737
8.4.3.3 Sigma-Delta ADC . . . . . . . . . . . . . . . . . 740
Contents xvii

8.4.3.4 ADC Latency in a Feedback Loop . . . . . . . . 743

8.4.4 Connecting the Less Sensitive Elements . . . . . . . . . 744
8.4.4.1 Characteristic Impedance . . . . . . . . . . . . 744
8.4.4.2 Non-Galvanic Connection . . . . . . . . . . . . . 747
8.5 Short-Range Motion Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 748
8.5.1 Optical Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 748
8.5.1.1 Position Sensitive Detectors . . . . . . . . . . . 749
8.5.1.2 Optical Deflectometer . . . . . . . . . . . . . . . 752
8.5.2 Capacitive Position Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . 754
8.5.2.1 Linearising by Differential Measurement . . . 755
8.5.2.2 Accuracy Limits and Improvements . . . . . . 756
8.5.2.3 Sensing to Conductive Moving Plate . . . . . . 759
8.5.3 Inductive Position Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . 760
8.5.3.1 Linear Variable Differential Transformer . . . 762
8.5.3.2 Eddy-Current Sensors . . . . . . . . . . . . . . . 764
8.5.4 Pneumatic Proximity Sensor or Air-Gage . . . . . . . . 765
8.6 Measurement of Mechanical Dynamics . . . . . . . . . . . . . . 766
8.6.1 Measurement of Force and Strain . . . . . . . . . . . . . 766
8.6.1.1 Strain Gages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 766
8.6.1.2 Fibre Bragg Grating Strain Measurement . . 769
8.6.2 Velocity Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 771
8.6.2.1 Geophone . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 772
8.6.3 Accelerometers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 776
8.6.3.1 Closed-Loop Feedback Accelerometer . . . . . 776
8.6.3.2 Piezoelectric Accelerometer . . . . . . . . . . . 778
8.6.3.3 MEMS Accelerometer . . . . . . . . . . . . . . . 787
8.7 Optical Long-Range Incremental Position Sensors . . . . . . . 789
8.7.1 Linear Optical Encoders . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 790
8.7.1.1 Interpolation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 794
8.7.1.2 Vernier Resolution Enhancement . . . . . . . . 796
8.7.1.3 Interferometric Optical Encoder . . . . . . . . 798
8.7.1.4 Concluding Remarks on Linear Encoders . . . 803
8.7.2 Laser Interferometer Measurement Systems . . . . . . 804
8.7.2.1 Homodyne Distance Interferometry . . . . . . 805
8.7.2.2 Heterodyne Distance Interferometry . . . . . . 812
8.7.2.3 Measurement Uncertainty . . . . . . . . . . . . 821
8.7.2.4 Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 828
8.7.2.5 Multi-Axis Laser Interferometers . . . . . . . . 833
8.7.3 Mechanical Aspects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 834
8.7.3.1 Abbe Error . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 835
xviii Contents

9 Precision Positioning in Wafer Scanners 839

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 839
9.1 The Waferscanner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 841
9.1.1 Requirements on Precision . . . . . . . . . . . . . . . . . 843
9.2 Dynamic Architecture . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 847
9.2.1 Balance Masses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 848
9.2.2 Vibration Isolation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 850
9.2.2.1 Eigendynamics of the Sensitive Parts . . . . . 853
9.3 Zero-Stiffness Stage Actuation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 857
9.3.1 Waferstage Actuation Concept . . . . . . . . . . . . . . . 858
9.3.1.1 Waferstepper Long-Range Lorentz Actuator . 858
9.3.1.2 Multi-Axis Positioning . . . . . . . . . . . . . . . 861
9.3.1.3 Long- and Short-Stroke Actuation . . . . . . . 862
9.3.2 Full Magnetic Levitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 865
9.3.3 Acceleration Limits of Reticle Stage . . . . . . . . . . . . 866
9.4 Position Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 868
9.4.1 Alignment Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 870
9.4.2 Keeping the Wafer in Focus . . . . . . . . . . . . . . . . . 872
9.4.3 Dual-Stage Measurement and Exposure . . . . . . . . . 875
9.4.4 Long-Range Incremental Measurement System . . . . 876
9.4.4.1 Real-Time Metrology Loop . . . . . . . . . . . . 877
9.5 Motion Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 880
9.5.1 Feedforward and Feedback Control . . . . . . . . . . . . 881
9.5.1.1 Thermal, The Final Frontier . . . . . . . . . . . 883
9.5.2 The Mass Dilemma . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 884
9.6 Future Developments in IC Lithography . . . . . . . . . . . . . 885
9.7 Main Design Rules for Precision . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 886

Appendix 889
References and Recommended Reading . . . . . . . . . . . . . . . . . 889
Bibliography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 890
Nomenclature and Abbreviations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 899
Index . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 909
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Preface

Motivation to the First Edition

A world without mechatronics is almost as unthinkable as a world with-

out electric light. After its origin around the second world war the name
mechatronics has become known for all kind of mechanical systems where
mechanics and electronics are combined to achieve a certain function. The
complexity of mechatronic systems ranges from a simple set of electronic
controlled relay-switches to highly integrated precision motion systems.
This proliferation of mechatronics has been described in many books, which
each have been written with a different scope in mind depending on the
specific technological anchor point of the author(s) within this wide multi-
disciplinary field of engineering.
This book distinguishes itself from other books in several ways. First of all
it is a combination of a reference book for engineers working in the high-
tech industry and a university textbook, due to the mixed industrial and
academic background of the authors. The industry oriented part is based
on extensive experience in designing the most sophisticated motion systems
presently available, the stages of wafer scanners, which are used in the
semiconductor industry. The academic part is based on advanced research
on precision motion systems, including ultra precision metrology equipment
with fast Scanning-Probe Microscopy and optical measurement systems
with sub-nanometre accuracy. The high-tech industrial background focuses
on high-precision positioning at very high velocity and acceleration levels.
With this focus, the book does not include examples from other important
application areas like robotics, machining centres and vehicle mechatronics,
though the theory is also applicable to those areas of mechatronics.
The presented material is aimed at obtaining maximum understanding of
all dynamic aspects of a motion system, which is the reason for the term
“High Performance” in the title.

xxi
xxii Preface

Another, more teaching related reason for writing this book is based on the
observation that most students at the university are rather well trained
in applying mathematical rules for solving purely mathematical problems,
while they often have more difficulties in the application of these mathemat-
ics in the modelling of real designs. The industrial need for well educated
engineers with both theoretical and practical skills, combined with a healthy
critical attitude to the outcome of computer simulations, became a guiding
motive for writing this book. The capability to swiftly switch between model
and reality is one of the most important skills of a real multidisciplinary
designer. This capability helps to quickly predict the approximate system
behaviour in the concept phase of a design, where intuition and small calcu-
lations on the backside of an envelope are often more valuable than computer
based detailed calculations by means of sophisticated modelling software.
It is certainly true that these software tools are indispensable for further
detailing and optimisation in the later phase of a design project but more
attention is needed for basic engineering expert-knowledge to cover the
concept-design phase where the most important design decisions are taken.
In view of these main motivations to write this book, it was also decided to
focus uniquely on the hardware part of mechatronic systems. This means
that the important field of embedded software is not presented even though
software often serves as the actual implementation platform for modern con-
trol systems. The reason for this exclusion is the intended focus of this book
on the prime functionality of a mechatronic system, without the interfaces
to other systems and human operators. The logical sequence algorithm of
the controller, together with the sampling delay, is more important for this
prime functionality than the way how this algorithm is described in C-code.
When writing a book on mechatronics, the broad range of contributing disci-
plines forces a limitation in the depth to which the theory on each of these
disciplines can be treated. Where necessary for the explanation of certain
effects the presented material goes deeper, but other subjects are treated in
such a way that an overall understanding is obtained without specialised in
depth knowledge of all details.
Like the work of a mechatronic engineer as system designer in a team of
specialists, this book is aimed to be a binding factor to the related spe-
cialised books, rather than one that makes these other sources of knowledge
redundant.
It is our sincere wish that this book serves its purpose.
Robert Munnig Schmidt, Georg Schitter, Adrian Rankers and Jan van Eijk
Preface xxiii

Comments to the Third Edition

As of the second edition from 2014 several users of this book have made
comments, which again rapidly filled the errata pages.
Also the many courses given by the authors at universities or with training
sessions for industrial engineers triggered attention to subjects that could
be explained better or more adapted to the present level of knowledge.
Most changes have been made in Chapter 4 on motion control, where the
focus in feedback control is shifted from pursuing a target bandwidth to a
targeted low sensitivity for disturbances in combination with high-accuracy
feedforward control using a solid trajectory planning, which is more in line
with industrial practice. For this reason the PID guidelines are replaced by
design steps that also include optimisation with loopshaping.
The presentation of “poles and zeros” and the different kinds of impedances
is moved to the physics chapter as it is applied in different chapters. The
physics chapter is the “must study first” chapter prior to studying any of the
other chapters, as most of the used terms are introduced there.
Another change is the addition of a dB scale next to the absolute magnitude
scale in the Bode plots of the motion control chapter, because it has often
been mentioned that the use of dB is as common in the control community
as it is in the electronics community.
The redefinition of the SI base units in May 2019 required slight changes in
some numbers and it further appeared useful to mention the units with the
equations to avoid confusion.
Due to the addition of several subjects also some pruning of “ancient” tech-
nology has been done. Especially the large part on linear power amplifiers
is reduced to the bare minimum, because at present almost all power ampli-
fiers apply switched-mode technology.
Finally the “Main Design Rules for Precision” section, which was omitted
from the second edition returns at the end of Chapter 9 after a complaint of
an enthusiastic reader who worked with both the first and second edition
and said he really used them.

Contributions and Acknowledgements

Besides much material from our own experience, this book also includes
material created by many other people.
Several university staff members and students have contributed to and re-
viewed the material. Some are cited in the text but even then it is impossible
to mention all without forgetting some names. For this reason only the most
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qu’il se livre ingénûment. On a dit de Napoléon que l’esprit jacobin
l’anime, qu’il est une sorte de « Robespierre à cheval ». Et je crois
bien que, là encore, on s’est trompé. Un Jacobin n’eût jamais dit que
« le système de gouvernement doit être adapté au génie de la nation
et aux circonstances du moment. »
L’œuvre du Jacobin serait partout identique, en Chine, en Arabie,
en France, en Afrique, en Allemagne, aux Indes, en Amérique, en
Angleterre. Il invente un monde fondé sur une idée a priori de
l’homme, et dont l’homme abstrait, partout présent, détermine tous
les aspects. Le créateur n’invente rien. Il prend les matériaux qui
s’offrent, et les choisit et les combine selon son imagination. Je ne
crois pas que celui-là, s’il eût réalisé son premier rêve de conquérir
l’Orient, eût organisé l’Orient comme il organisa la France. Mais il
comprit qu’il ne pouvait organiser la France que selon la Révolution,
et pour cela tendit tous les ressorts sans lesquels il n’eût pu le faire.
Le scepticisme supérieur qui anime tous les artistes l’avertissait
certainement que, lui mort, son système perdrait sa plus éminente
vertu. Raison de plus pour en accuser tous les angles, en établir la
masse, en accroître le poids. Il le lança dans l’avenir avec la force et
la grandeur de vues qui le caractérisaient. Et peut-être eût-il duré dix
siècles sans l’immense afflux de moyens et de besoins neufs dont
les cent ans qui le suivirent inondèrent notre esprit. Mais cela,
prenez-y garde, parce qu’il était Napoléon. Michel-Ange règne
encore, opprime encore, corrompt encore, parce qu’il est Michel-
Ange. Le propre du grand homme est de créer des formes
oppressives en détruisant les formes oppressives qui existaient
avant lui.
Il n’aime pas la tyrannie. Et partout où il la rencontre, il la brise.
Mais sa propre tyrannie l’enivre, parce qu’une vertu créatrice
incomparable naît des décisions qu’elle prend. « Dans tous les
temps, dit-il, la première loi de l’État a été sa sûreté, le gage de sa
sûreté sa force, et la borne de sa force celle de l’intelligence qui en a
été le dépositaire. » Voilà. Lui vivant, c’est dans le sens où il
l’engage que la Révolution vivra. Parce qu’il n’en voit pas d’autre.
Parce qu’il n’y en a pas d’autre. Parce que lui seul fut assez fort pour
la saisir quand elle allait sombrer, la ramener sur la rive et l’y
soutenir d’une main puissante en la serrant au collet. Mais prenez
garde. Il ne se fait pas illusion. « Savez-vous, dit-il encore, ce que
j’admire le plus dans le monde ? C’est l’impuissance de la force pour
organiser quelque chose… La France ne tolérera jamais le
gouvernement du sabre. Ceux qui le croient se trompent
étrangement. Il faudrait cinquante ans d’abjection pour qu’il en fût
ainsi, La France est un trop noble pays, trop intelligent pour se
soumettre à la puissance matérielle et pour inaugurer chez elle le
culte de la force… A la longue, le sabre est toujours battu par
l’esprit. » [U]
Est-ce un retour ? Est-ce un remords ? Pour moi, je ne le crois
guère. C’est ainsi que l’artiste parle quand on lui dit que la forme
qu’il crée pourrait servir de départ aux formes de l’avenir. Quel
avenir d’ailleurs ? Que pèse un siècle, et dix ? Et cent ? Il y a deux
fois moins de temps entre Jésus et nous qu’entre le Sphinx et Jésus,
et l’esprit de Jésus s’efface. Une immense mélancolie fait le fond
des grandes âmes et leur ivresse immense n’est qu’une conquête
incessante de leur volonté sur la clairvoyance intime qui fixe des
bornes à leur puissance, quand bien même ils planteraient ces
bornes très au delà de leur mort. Pourquoi tant de bruit ? Pourquoi
tant de sang ? Et pourquoi tant d’activité ?… « Il eût mieux valu, pour
le repos de la terre, que Rousseau ni moi n’eussions jamais existé. »
Mais voilà, le repos, n’est-ce pas la mort de la terre ? Rousseau,
Napoléon, après Moïse, après Jésus, n’ont-ils pas une mission qui
les dépasse et qui précisément est de troubler ce repos ?
D’empêcher l’enlisement des cœurs dans le marécage endormi ?
Par tous les moyens que Dieu leur donne, l’indignation, l’amour, le
paradoxe, la guerre ? Et la mélancolie des grandes âmes ne vient-
elle pas de ce qu’elles sentent que l’indignation comme le paradoxe,
et l’amour comme la guerre, ne sont que des moyens égaux devant
l’éternité, pour procurer au monde une illusion qu’elles ne partagent
pas ? La grandeur, au fond, n’est peut-être qu’un contraste sublime
entre le pessimisme radical d’un homme qui subit cette grandeur
comme une fatalité de sa nature, et son espérance invincible de
déterminer l’avenir.

Ses doutes vaincus, son choix fait, l’égalité civile, le

développement progressif de la liberté politique qu’elle entraîne, la
liberté religieuse à précipiter toutes dans les ornières granitiques
d’institutions destinées à modeler l’Histoire selon la Révolution, il ne
s’agit plus de discuter leur opportunité, leurs moyens et leur forme.
L’attitude du réalisateur vis-à-vis des partis politiques ne peut différer
de celle qu’il adopte vis-à-vis des religions, — et d’ailleurs qu’est-ce
qu’un parti, sinon une religion qui se décompose ou se forme, ou
avorte ?… « Il faut administrer pour les masses, dit-il, sans
s’embarrasser si cela plaît à Monsieur un tel ou au citoyen un tel…
Les hommes supérieurs voient d’en haut, et dès lors au-dessus des
partis. » [V]
Ne croirait-on pas entendre un peintre, dont on critique le tableau
en s’emparant de ses détails, celui-ci le trouvant trop éteint, celui-là
pauvre en demi-teintes, cet autre dépourvu de sentiment, cet autre
d’un dessin trop tendu, cet autre mal composé, cet autre d’une
matière trop mince, ou trop épaisse, lui seul, qui l’a conçu, le voyant
dans son ensemble, avec ses trous et ses faiblesses, certes, mais
harmonieux tout de même, logiquement construit, répondant somme
toute à la fonction moyenne que le moment, les besoins du moment,
l’esprit du moment en attendent ? Lui seul le jugeant librement —
bien qu’ayant été contraint par son génie même de le concevoir tel
qu’il est, — non au travers de ses intérêts, de ses passions, de ses
affections, de ses rancunes personnelles, mais avec l’intelligence
constructive de qui sait embrasser le problème le plus complexe par
tous ses aspects à la fois, comme un objet à tirer d’une gangue
épaisse, à dégrossir, à modeler, à faire tourner dans la lumière afin
qu’il puisse devenir un centre visible de tous, sensible pour tous, où
tous puissent trouver le départ et l’arrivée de leur action, dût-il, lui
seul, passer à ce travail ses jours et ses veilles, y sacrifier son
repos, sa sécurité, son bonheur et en fin de compte sa vie. Je sais
aussi des hommes de parti qui sacrifient ces biens d’un cœur
allègre, mais c’est un sentiment confus qui les anime, un sentiment
d’esclave, étroit, unilatéral, fanatique, négatif avant tout, plein de
haine aveugle, incapable d’exprimer par l’édification d’un bâtiment
qu’il a quelque chose à bâtir, acharné à démontrer par des mots qu’il
a raison dans l’espace et pour jamais : « L’homme le moins libre est
l’homme de parti. »
Il y a plusieurs façons d’être en dehors des partis, au-dessous ou
au-dessus. La première est celle des chefs d’État de la plupart des
démocraties modernes. Elle consiste à suivre le parti au pouvoir,
leurs droits — c’est-à-dire leurs facultés, — ne leur laissant pas une
seconde alternative. L’autre est infiniment plus rare, mais plus
différenciée aussi, parce qu’elle suppose, chez celui qui la possède,
une personnalité grandiose. Il y a celle de Louis XI, vivant en un
temps de passions sauvages, entre des organismes si violents que
l’assassinat, le vol d’une province, le mépris des traités sont choses
courantes, et avouées, et qui consiste à jouer de ces passions pour
opposer les uns aux autres ces organismes, comme on déplace des
pions sur un échiquier, sans qu’il soit question de conscience, en
vue d’une fin réaliste à atteindre par n’importe quel chemin. Il y a
celle de César, avançant avec douceur et fermeté vers son but entre
deux partis extrêmes à peu près d’égale puissance, obtenant tantôt
de l’un, tantôt de l’autre des concessions ou un appui, les équilibrant
l’un par l’autre avec une admirable intelligence de leur nécessité
historique et des frontières respectives de leur vertu de création. Il y
a celle de Napoléon, arrivant au moment où leur énervement, après
leurs excès passionnels, gagne et corrompt une nation entière et,
décidé dès lors à les ignorer les supprimant par le fait de cette
ignorance, les jetant au moule commun d’un monument commun à
élever. C’est, des trois, la plus difficile, en l’espèce tout au moins,
Louis XI étant le Roi, César appartenant à la plus grande famille de
la ville, et Napoléon, moins de quatre ans avant d’entreprendre cette
œuvre, n’étant rien. La moins durable aussi, parce que le maître
disparu, les partis ressuscitent, leur appétit et leur férocité accrus du
jeûne qui leur a été imposé. La plus féconde, dès qu’une grande tête
les domine, capable de peupler leur silence d’harmonies
personnelles qu’ils ne peuvent contrarier. En tout cas celle qui exige,
de la part d’un homme d’État d’autre part assez fort pour ne point
s’appuyer sur la terreur, mais uniquement sur la loi à vrai dire
rigoureuse, le plus de justice et de sévérité vis-à-vis de ceux qui le
servent, le plus de courage, de vigilance, de continuité dans les
desseins. « Il faut déployer plus de caractère en administration qu’à
la guerre. »

En effet. Quand on a entrevu le fond de sa pensée, constaté

d’une part le scepticisme intime avec lequel il envisageait sa tâche,
d’autre part sa résolution de la réaliser une, cohérente, imposante,
— comme un artiste qui sait bien que le temps mangera son œuvre
et pourtant préfère la souffrance, la ruine et la mort à la perspective
de ne pas l’édifier entière, — on est saisi d’une sorte d’effroi en
considérant l’intelligence et l’énergie qu’il lui fallut pour concilier dans
une forme unique tant de contradictions et d’intérêts antagonistes.
Un monument majestueux à peine renversé, et complètement
renversé, tous ses débris épars dans le sang et la poussière, en
élever tout seul un autre, aussi solide d’apparences que celui-là où
quinze siècles avaient apporté, maçonné, orné chaque pierre,
l’Histoire ne fait pas mention d’une tentative aussi hardie. Le Barbare
installait sur les décombres des cités un ordre ancien, qu’il apportait
de chez lui avec tous ses organes, et substituait par la force
matérielle à l’ordre renversé. Ici, rien de pareil. « On ne répare pas
les trônes. » Il s’agit de souder l’avenir au passé, l’Occident à
l’Orient, le Nord au Sud, la démocratie à l’aristocratie, la tradition à la
révolution, le droit divin au droit des peuples. Et, qu’on y prenne
garde, dans le but à coup sûr immédiatement chimérique, non de
ressusciter des morts, ni même de farder des momies, mais de
diviniser le droit des peuples, de rendre la révolution traditionnelle,
d’ennoblir la démocratie, de durcir le noyau d’unification du globe, et
de régénérer les forces mourantes du passé dans les sources de
l’avenir. Il fallait lancer sur l’abîme une arche pour unir une rive à
l’autre et, suspendu seul au-dessus de lui dans l’orage, cimenter au
vol les pierres brutes en repoussant de son poing déchiré l’assaut
continu des rapaces.
Au fond, il retrempait le rêve incurable de Rome, ce rêve qui a
servi d’épine dorsale à l’Histoire occidentale et l’a soutenue debout,
dans les énergies vierges d’une mystique nouvelle dont il aperçut
tout de suite, avec une profondeur d’intuition décisive, l’ossature
positive et possible à réaliser. C’est l’Œuvre et la Passion latines qu’il
reprenait à l’occasion d’un événement inouï. Il prétendait substituer à
l’organisme puissant mais diffus de la monarchie germanique qui
tombait en ruines et qu’Henri IV, Richelieu, Colbert avaient tenté de
recrépir, la forte unité latine d’un organisme embryonnaire que le
XVIIIe siècle exigeait et auquel il infligea une forme trop définie mais
sans doute nécessaire aux conquérants du pouvoir politique pour
accomplir, dans l’aménagement matériel de la terre, leur mission.
Latin, il pensait en Latin, c’est-à-dire en architecte. Et il ne pouvait
trouver qu’en France le terrain, les matériaux et les ouvriers de son
travail.
La France n’a jamais eu, dans l’Histoire, d’autre fonction que
celle-là. Il s’est toujours agi pour elle d’équilibrer, dans une forme
personnelle, le génie des races méditerranéennes et le génie des
races germaniques. Ce n’est pas sa faute si sa situation
géographique en fait le carrefour des peuples de l’Occident. Ce n’est
pas sa faute si les tribus allemandes traînant derrière elles les
hordes de la grande steppe qui va de la Vistule à l’Amour, ne
cessent, depuis les commencements de l’Histoire, de menacer ou de
passer le Rhin pour incendier les villes et faucher les moissons au
rythme des hymnes de guerre. Ce n’est pas sa faute si ses côtes
occidentales bordent la route des Scandinaves descendant vers les
mers du Sud et s’aperçoivent, comme une proie qui s’offre, des
hautes falaises bretonnes où les pirates de la mer, qui portent dans
le cœur la poésie des flots et des étoiles, guettent le passage des
barques de pêche et des navires de combat. Ce n’est pas sa faute si
les couloirs des Pyrénées déversent de temps immémorial sur ses
plaines les Numides, les Carthaginois, les Ibères, les Arabes en
quête d’oasis à découvrir, de troupeaux à prendre, de minarets à
élever au-dessus des eaux et des palmes. Ce n’est pas sa faute si
ses côtes méridionales voient émerger constamment des sources du
soleil les voiles bleues, rouges, vertes, oranges sous qui les marins
phéniciens ou grecs observent, pour le rapt violent ou l’échange
contre des tapis rutilants, des verreries, des figurines, les jeunes
filles groupées autour des lavoirs. Ce n’est pas sa faute si les hautes
gorges des Alpes laissent passer dans le flux des légions
descendant vers les forêts gauloises ou le reflux des régiments
descendant vers les cités lombardes, les manuscrits, les peintures,
les statues, la vaisselle d’or ou d’argent. Et c’est sa gloire, dans le
drame enchevêtré de la résistance par le fer aux invasions militaires,
de la résistance par l’esprit aux invasions morales, des défaites
fécondes et des victoires mutilées, de retrouver sans cesse, dans
l’ordre qui lui est propre et que son sang et ses larmes cimentent,
cette mesure intellectuelle qui accueille ces rumeurs, ces souffles,
ces orages confrontés, pour les organiser harmoniquement dans sa
tête.
Cette tragédie presque continue est sa raison d’être, la condition
probablement nécessaire de sa force de création. C’est par elle
qu’elle conquiert cet équilibre spirituel qui entretient son goût de
vivre et qu’elle semble perdre dès que s’apaise le conflit. Tiraillée
sans répit entre l’influence du Nord, l’influence romantique, musicale,
panthéiste des foules mystiques qu’organise le féodalisme germain,
et l’influence du Midi, l’influence rationaliste, architecturale,
individualiste des Cités républicaines que l’aristocratie latine
hiérarchise et définit, elle ne cesse pas d’en subir l’antagonisme
dans ses institutions politiques et d’en réaliser l’accord dans son art
où domine toujours, d’ailleurs, l’un des deux courants qui le forment.
L’esprit méditerranéen charpente la Commune et la Cathédrale,
mais telle est alors la richesse de la floraison qu’ont préparée les
invasions germaniques stabilisées par les Francs, que la grande
rumeur confuse des métiers, des forêts, des hymnes noie sous son
lyrisme anonyme les lignes du monument. Rompu au XVe, au XVIe
siècles, par les descentes répétées en Italie et les retours victorieux
de l’Italie dans l’imagination des soldats et les produits de leurs
rapines, l’équilibre se refait avec l’âge classique au cours duquel ni
l’angoisse de Pascal, ni l’harmonie de Racine, ni l’analyse de
Descartes, ni la morale de Corneille ne parviennent à dissimuler le
souci dominant chez Corneille, chez Descartes, chez Racine, chez
Pascal, de subordonner le génie sensuel des races du nord de
l’Europe aux cadences régulières et symétriques du Midi. La
nouvelle rupture infligée au rythme classique par le siècle qui le suit
et qui paraît en son effort paradoxal, avec Watteau, avec Diderot,
avec Rousseau, avec Montesquieu chercher, dans l’esprit
germanique même, les armes qu’elle oppose au féodalisme
germain, aboutit, avec la Révolution, au renversement de la
monarchie qui le représente, avec Napoléon à la tentative de
substituer à la dynastie franque une dynastie latine, gardienne de
l’ordre unitaire et légalitaire contre l’ordre théologique et féodal.
Quelle que soit, par le siècle de l’analyse, de l’Encyclopédie, de la
peinture symphonique retrouvée chez les Flamands, l’importance de
l’apport nouveau, dans l’âme celte, de l’esprit descendu des rivières,
des mers, des forêts brumeuses, quelle que soit sa persistance dans
le romantisme qui suivra, Napoléon inflige pour un siècle à la France
l’obligation de faire appel à l’architecture latine pour le bâtir
solidement. Les gens de Rome ne s’y trompaient pas quand ils se
consolaient par ces propos de l’humiliation permanente que leur
infligeait son orgueil : « Après tout, c’est une famille italienne que
nous imposons aux barbares pour les gouverner… »
De là, surtout, le caractère énigmatique de cet étrange esprit,
placé entre deux âges, entre deux mondes, et cherchant à organiser,
par la seule vertu d’une volonté fatale comme une naissance, les
viscères de l’un d’eux autour du squelette de l’autre. De là
l’enthousiasme trop confus, la haine trop définie qui accueillent son
souvenir chaque fois qu’il est évoqué. Ce héros est un homme,
personne ne se résigne à cela. Cet athée est un mystique, personne
ne concilie cela. Ce poète est un logicien, personne n’admet cela.
Ce soldat est un juriste, personne ne permet cela. Ce démocrate est
un aristocrate, personne ne comprend cela. Cela d’abord et par
dessus tout. Les médiocres aristocrates de la pensée ne peuvent lui
pardonner d’avoir pensé en démocrate. Les médiocres démocrates
de l’action ne peuvent lui pardonner d’avoir agi en aristocrate. Sa
présence humilie les trônes, parce qu’il a montré l’origine des trônes
en s’asseyant sur le plus haut d’entre eux. Et si, par là, elle grandit
les peuples, elle humilie tous les bergers improvisés des peuples en
obligeant leur faiblesse à se masquer de vertu feinte. Nul ne peut
expliquer son acte, parce qu’il est le seul homme qui ait osé
l’accomplir. Toujours, en toute circonstance, il oblige les hommes à
lui laisser la parole pour leur livrer, dans le geste ou le mot, décisifs
comme un chef-d’œuvre, toutes les antinomies de son destin
miraculeux : « Je suis soldat, enfant de la Révolution, sorti du sein
du peuple. Je ne souffrirai pas qu’on m’insulte comme un Roi. »
 XI
L’APOSTOLAT

Ce Romain, qui dispute aux Barbares la Gaule, parce qu’il sait

bien que la Gaule est le nœud des destinées de l’Occident, est
hanté par le désir de faire régner sur l’Occident la paix romaine, celle
que les Légions partout établies imposent en éteignant les querelles
locales, en écrivant la Loi et en protégeant le travail. Rêve immense,
peut-être plus irréalisable que la paix sentimentale du consentement
unanime, le consentement unanime conditionnant une passion
idéaliste fanatique, laquelle engendre la guerre dès que l’unanimité
fléchit. Mais qui suppose une vertu se maintenant intacte durant la
vie séculaire du peuple qui veut l’imposer. En tout cas, l’un des pôles
de l’axe moral autour de qui tournent les sociétés humaines, la force
intelligente et la douceur mystique prétendant l’une et l’autre viser à
leur équilibre et provoquant périodiquement, par leurs réactions l’une
sur l’autre, la guerre, la révolution, le drame continu et fécond qui
permet à l’homme de rompre l’immobilité et de faire reculer la mort.
Encore un caractère d’essentielle et intransigeante passion qui fait
de Napoléon la fraternelle antithèse du Christ.
Ce qui hante celui-là, de son aveu, c’est la « régénération
européenne ». « Il faut, dit-il, sauver les peuples malgré eux. » Il veut
la paix universelle, la suppression de toutes les frontières, ce que ne
veulent pas, ce que ne conçoivent même pas ses ennemis qui
allument partout des foyers sporadiques qu’il voudrait éteindre à
jamais. Et pour que la paix se répande, il veut que les peuples soient
heureux, gouvernés selon les idées et les besoins modernes, aimant
les institutions qu’ils se donnent, ou qu’il leur donne, convaincu que
son rôle est de les leur donner et qu’ils les attendent de lui. Il a des
illusions étranges. Il croit que tous les Espagnols seront pour lui s’il
leur apporte l’égalité, qui leur indiffère. Il croit que les Allemands
l’accueilleront comme un sauveur s’il brise le féodalisme, qui leur est
cher. Bien mieux, il croit que s’il parvient à prendre Londres et à y
proclamer la République, l’abolition de la Chambre des pairs, la
souveraineté du peuple et les Droits de l’Homme, l’Angleterre
s’inclinera. Les peuples sont avec lui. Il le sent, il le sait, il l’affirme
avec une insistance passionnée, presque douloureuse parfois, qui,
pareille aux commandements d’un Démiurge, semble ordonner à
l’Histoire de marcher dans ses chemins [W] . « Je voulais préparer la
fusion des grands intérêts européens, ainsi que j’avais opéré celle
des partis au milieu de nous… Je m’inquiétais peu des murmures
passagers des peuples, bien sûr que le résultat devait me les
ramener infailliblement… L’Europe n’eût bientôt fait de la sorte
véritablement qu’un même peuple, et chacun, en voyageant partout,
se fût trouvé toujours dans la patrie commune… Cette
agglomération arrivera tôt ou tard par la force des choses ;
l’impulsion est donnée, et je ne pense pas qu’après ma chute et la
disparition de mon système, il y ait en Europe d’autre grand équilibre
possible que l’agglomération et la confédération des grands
peuples. » [X]
Vous croyez encore que c’est là l’illusion jacobine, après l’illusion
catholique, avant l’illusion socialiste ? Prenez garde cependant que
chacune de ces illusions a laissé, laisse ou laissera des alluvions
solides derrière le torrent qui l’emporte. Prenez garde aussi qu’il
parle d’« intérêts », bien plus que de « principes » ou de « droits ».
Prenez garde en outre qu’il dit connaître seulement « deux peuples,
les Orientaux et les Occidentaux », ce qui suppose, son attitude au
Caire et à Paris le montre, l’antagonisme de sa pensée pratique
avec la pensée théorique du jacobinisme intégral. Celle-ci procède
abstraitement, entourant d’idées comme d’un rempart les faits
qu’elle dédaigne, niant, sous quelque latitude que ce soit, l’existence
et la nécessité du fait religion, ou monarchie, tandis que Napoléon
part du fait et procède de proche en proche, espérant certes unifier
l’Occident, mais sachant bien qu’au delà une autre mystique règne,
dont son ami Alexandre est à l’avant-garde et qui forme l’autre
élément de l’équilibre gigantesque qu’il songe à imposer à l’univers.
Prenez garde qu’il se rend compte des caractères ethniques qui
différencient les groupements humains, puisqu’il veut faire de
« CHACUN DE CES PEUPLES un seul et même corps de nation. »
Prenez garde enfin que partout où il passe, même quand il
méconnaît la passion propre qui définit chaque peuple où son
passage laisse des sillons sanglants, l’Espagne, l’Italie, l’Allemagne,
la Pologne, la Russie même, il éveille une passion plus générale qui
brise ici l’Inquisition, prépare là la disparition du servage, suscite
ailleurs le sentiment et le désir d’une unité politique future,
dangereuse certes pour sa France, éternelle martyre des idées
fécondes qu’elle sème, mais indispensable à la constitution
organique, qu’il rêve, de l’Occident. Son action, comme une eau où
tombe une pierre, s’étend en cercles concentriques. Comme tous les
gestes puissants, les siens dépassent leur but, tout au moins leurs
buts visibles. L’expédition d’Égypte éveille l’Afrique et l’Orient.
Quand il jette les Bragance à la mer, la lame qui en naît va battre
l’Amérique. Jusqu’en 1808, l’univers entier le regarde comme
l’annonciateur armé des temps nouveaux ouverts par la Révolution.
Remarquez qu’il le sait fort bien : « Je fais l’essai de mes forces
contre l’Europe, écrit-il un jour à Fiévée, vous essayez les vôtres
contre l’esprit de la Révolution. Votre ambition est plus grande que la
mienne et j’ai plus de chances de succès que vous. »

Son moyen est la guerre, soit. Mais est-on sûr que, dans sa
situation, il en soit d’autres ? Il l’aime, soit, parce qu’il est doué pour
elle comme jamais homme ne le fut. Mais est-on sûr qu’il n’ait pas
eu presque toujours la force de l’arrêter à l’heure où il devine qu’elle
a produit tout son effet ? Et ne la condamne-t-il pas dans son
principe, comme ces artistes supérieurs qui se savent au-dessus de
leur moyen et qui voient, dans ce moyen, leur suprême servitude,
aigles ivres des espaces déserts où ils se bercent sur leurs ailes et
forcés de descendre en tournoyant sur terre pour nourrir leur vol ?
« La guerre est un anachronisme… Les victoires s’accompliront un
jour sans canons et sans baïonnettes… Celui qui veut troubler la
paix de l’Europe veut la guerre civile… » Ce sont ses ennemis qui
veulent la guerre, et non lui. Il le croit du moins, et comme une
passion plus haute que la leur, qui exige aussi la guerre, le soulève
au-dessus de leurs vues étroites et de leurs petits intérêts, il les
prévient et déchaîne la guerre pour ne pas être surpris. Il les
prévient en commençant la guerre, comme, dans la guerre même, il
les prévient en ouvrant le combat.
C’est ainsi que cela se passe presque toujours, pour ses deux
guerres avec l’Autriche, pour sa guerre avec la Prusse, pour sa
première et peut-être même sa seconde guerre avec la Russie.
Quand il soupçonne que l’adversaire se ramasse, bande ses
muscles, aiguise ses griffes et ses dents, il bondit, le prend à la
gorge. Il attaque, sans se demander s’il peut éviter son attaque, se
modérer, temporiser, consentir à des concessions, toutes mesures
qui feraient plier son système et d’ailleurs blessent son orgueil. Il
poursuit l’Illusion avec une candeur terrible, comme le poète ou le
juste semant autour d’eux la mort, précisément parce qu’ils
n’aperçoivent pas les embûches de la route et que leurs yeux sont
fixés sur l’harmonie des nombres et des lignes ou le bonheur du
genre humain. « Il faut que cette guerre soit la dernière », dit-il en
1806. Et c’est lui seul qui, à Campo-Formio, à Amiens, à Presbourg,
dans l’anarchie sanglante où se débat depuis quinze ans l’Europe, a
la force de décider qu’il faut un arrêt dans le drame et de fournir au
drame, par son intelligence et son énergie à le résoudre, le moyen
de s’arrêter. Il est le seul pour qui la guerre soit une œuvre
monumentale, envisagée dans son ensemble, et qui ne consiste pas
à gagner une bataille, mais à développer un vaste poème politique,
avec ses enchaînements complexes et ses échos universels,
prenant source dans son cœur même et qu’il poursuit et parachève
dans un enivrement continu d’imagination créatrice où naissent des
réalités nouvelles et des rêves nouveaux.
Au fond, il n’y a eu que deux guerres, de 92 à 1815. La guerre de
défense de la Révolution qui lui permit, dans une tension atroce de
ses nerfs à vif, de ses muscles déchirés, de ses os cassés par
place, d’affirmer contre l’Europe et elle-même les réalités politiques
et morales que sa naissance dramatique justifie et que la paix
d’Amiens, en la reconnaissant, termine. La guerre d’expansion de la
Révolution qui la pousse à répandre, en portant la terreur du dedans
au dehors, ces réalités sur l’Europe, et que Bonaparte inaugure en
96, au cours même de la période défensive, pour la poursuivre
jusqu’au jour où elle aura épuisé toutes ses conséquences logiques,
atteint Rome, Madrid, Vienne, Berlin, Moscou, et mourra de ses
excès dans son dernier enfantement. Tous les conflits partiels qui
s’allument ou s’éteignent au cours de ces deux guerres-là ne sont
qu’un épisode de la lutte d’un quart de siècle qui dresse la féodalité
continentale contre la démocratie française naissante, et plus
spécialement l’oligarchie anglaise contre la concurrence économique
que la puissance de la France risque de lui susciter.
Alors que tous ses alliés, frappés tour à tour désarment, ou
feignent de désarmer, l’Angleterre entretient et perpétue la guerre
qui a pour but catégorique la ruine de la France sur le continent et lui
invente un ennemi nouveau dès que le précédent tombe. Lutte
grandiose. Il court l’Europe pour l’atteindre, elle se dérobe partout.
Comme il ne peut la frapper que sur terre, il la poursuit jusqu’à
Moscou, rêvant de s’appuyer sur Moscou pour la poursuivre
jusqu’aux Indes. Il lui interdit le continent, lui barre ses rades et ses
fleuves, la traque jusqu’aux ports de Portugal et d’Espagne,
l’enferme dans la mer comme dans une geôle, décrétant ce jour-là,
peut-être, la forme la plus efficace des luttes de l’avenir. Hors de la
fournaise où fondent les hommes, elle les regarde mourir. Une pièce
d’or pour un soldat, un sac d’or pour un régiment, une tonne d’or
pour un peuple. Grande chose, certes, parce qu’une énergie terrible
est nécessaire pour cela, qu’il faut se serrer la ceinture, qu’il faut
couvrir les mers de croisières vigilantes, braver vingt ans leur
formidable ennui, refouler le doute, masquer la défaillance, nier le
désespoir. Grande chose parce que celui qu’on veut frapper au cœur
est seul sur le bord du rivage, quelques voiles qui fuient devant sa
colère, dix chiens dans son dos contre lesquels il se retourne, les
mettant d’un regard en fuite, les abattant d’un revers de la main ou
les forçant dans leur tanière, recommençant contre leur flot qui
monte, le poignet, les cuisses mordues, secouant son sang dans la
neige et la poussière, tandis que l’insaisissable et seul ennemi
conscient ricane, se sachant hors d’atteinte, surveillant l’anémie
croissante du colosse et connaissant que la mort monte lentement à
son cœur. Il côtoie le bord du gouffre, et court pour ne pas y rouler.
« Il croyait que stationnaire, il tomberait » [15] .
[15] Bourrienne.

Avait-il tort ? Qu’en savons-nous ? Qu’en saurons-nous ? Le

mouvement précipite au delà de lui un mouvement nouveau qui en
détermine un autre. La latinité n’a pu se borner à vaincre le
germanisme en Provence et en Lombardie, elle a dû broyer dans le
nid l’œuf des invasions futures, passer le Rhin, entrer dans la forêt
profonde. Le germanisme victorieux de la latinité dans les plaines du
Valois a dû, pour en étouffer les derniers germes, la poursuivre dans
les gorges farouches du Rouergue et de l’Albigeois. Si la révolution
ne s’épand pas sans cesse, elle mourra sur place, comme un feu
sans aliment. Les guerres de Napoléon ? « Étaient-elles donc de
mon choix ? N’étaient-elles pas toujours dans la nature et la force
des choses, toujours dans cette lutte du passé et de l’avenir, dans
cette coalition constante et permanente de nos ennemis qui nous
plaçaient dans l’obligation d’abattre sous peine d’être abattus ? » « Il
sentait, dit Emerson, avec tous les hommes sages, qu’il faut autant
d’énergie vitale pour conserver que pour créer. »
C’est pour cela qu’il est le drame permanent. Avec la plus vaste
matière, et la plus belle, dont homme ait jamais disposé, dix peuples
à genoux, l’Église serve, d’immenses armées fanatiques qu’il manie
avec la sûreté et l’aisance d’un duelliste tenant la plus légère et la
plus souple épée au poing, il se sent comme suspendu dans sa
propre solitude, vivant anachronisme, bien que nécessaire à son
temps, par la force monstrueuse de sa nature, vivante contradiction
avec toutes les époques par son mépris des habitudes machinales
et des intérêts mesquins, antithèse vivante de l’inertie formidable
des puissances du passé qui se liguent contre lui. La guerre ne suffit
pas, ni la paix, ni la loi, ni l’ordre. La domination matérielle du
monde, les moyens de la domination spirituelle sur le monde lui
échapperont tout à fait s’il ne plonge de toutes parts dans les
préjugés même, les coutumes, les besoins encore insatisfaits du
monde, des racines qui vont chercher ses couches les plus
profondes pour s’y fixer et s’y nourrir. « Dans l’harmonie que je
méditais pour le repos et le bien-être universels, dit-il, s’il fut un
défaut dans ma personne et mon élévation, c’était d’avoir surgi tout
à coup de la foule. Je sentais mon isolement ; aussi je jetai de tous
côtés des ancres de salut au fond de la mer. » Il veut que les rois
soient fonction de la Révolution française. Il mêle ceux qu’il crée aux
familles régnantes, qu’il asservit à son système au risque de le
disloquer. Ses guerres ne sont qu’un moyen, face à l’inimitié
déterminée des monarchies, de garrotter ces monarchies dans les
liens de mariages et d’alliances qui les rendront solidaires de la
démocratie occidentale qu’il veut organiser pour la conquête du
futur. Son propre mariage autrichien obéit à ce même instinct où
l’orgueil, l’intérêt politique, d’immenses vues sur l’avenir du monde
s’enchevêtrent. Le plus rare génie, celui qui semble aller droit au but
et tout d’une pièce, est fait d’êtres contradictoires qui se déchirent,
et, sous le rayonnement de son action et de sa gloire apparaissant
fermes et sûrs, ensanglantent ses profondeurs. Le grand homme a
toujours plusieurs prétextes à ses actes, et ce sont ces prétextes
que les analystes, en les isolant, prennent pour des mobiles
exclusifs. Plus tard, lui-même, quand il regarde la route parcourue et
veut expliquer ses actes, ne sait pas souvent pourquoi il les a
accomplis. En réalité, c’est sa puissance même qui traîne après elle
et conditionne ses prétextes, lesquels ne sont proprement que le
sujet de l’œuvre d’art [Y] .

La guerre, la paix, le blocus, les passions des hommes et des

peuples, les siennes propres, il joue de tout cela dans l’unité
grandiose d’une force qui s’accroît de sa substance même, et
n’envisage les destins du monde qu’en fonction de son destin. La
France, sa maîtresse, ne lui a jamais manqué, mais il lui manque
souvent, dans le jeu impétueux et large d’une sensualité à qui la
France ne suffit pas comme aliment, bien qu’elle soit la plus aimée,
la seule aimée, qu’il lui revienne toujours, qu’il compte uniquement
sur elle et qu’il ne trouve qu’elle pour le bercer sur son cœur quand il
revient sanglant de quelque ardente aventure. Il prend les nations
tour à tour, par sa renommée ou la guerre, par le bienfait ou par le
châtiment, il les féconde, ou les viole, et les délaisse tour à tour. Et
comme il arrive si souvent aux femmes quand un homme les prend,
et les féconde, ou les viole ou les délaisse, elles sortent de l’étreinte
transfigurées et accrues moralement.
Est-ce son erreur, son crime, s’il a révélé à eux-mêmes les
peuples européens ? Misérable raisonnement ! La France a payé,
certes, mais c’est son rôle dans l’Histoire. Et il n’est pas le moins
noble. L’Europe moderne lui doit, par le terrible missionnaire qu’elle
lui a si souvent envoyé, d’avoir commencé à se connaître mieux.
L’Angleterre et la France à part, tous les peuples d’Europe, avant lui,
manquent d’éducation nationale. Il est à peu près indifférent à
chacun d’appartenir à tel ou tel, de passer d’un maître à un autre, de
ne pas sentir le même sang circuler dans toute sa chair. Il vient, et
quand il est venu, tout change. Non qu’il procède par persuasion, ni
par amour. Au contraire, il méconnaît le plus souvent l’âme nationale
naissante. Il coupe l’Allemagne en morceaux, qu’il soude dix fois au
hasard, sans doute convaincu que le patriotisme est un sentiment de
luxe ignoré de ces contrées pauvres et dans tous les cas incapables
de résister aux bienfaits politiques qu’il croit leur apporter. Mais c’est
précisément ce fractionnement perpétuel qui révèle l’Allemagne à
elle-même pour la première fois. Il se heurte violemment à l’esprit
religieux de l’Espagne, ce qui vivifie pour la première fois l’unité
morale de l’Espagne dans l’âme des Espagnols. Et comme il est
celui dont l’épée, pour la première fois, touche le cœur de la Russie,
il réveille les battements torpides de ce cœur qui s’ignorait. Pour la
première fois depuis la chute de Rome, l’Italie, grâce à lui, soude ses
tronçons.
C’est par lui, et pour les besoins de la future Histoire, que
l’individualité propre révélée par la Renaissance à l’homme, apparaît
aux groupements d’hommes. Et de là, en vertu d’un second travail,
la part d’individualité morale commune à tous les hommes et à tous
les groupements d’hommes qu’il prétendait — trop tôt — leur
imposer. « L’Europe, disait-il vers la fin de sa vie, ne formera bientôt
plus que deux partis ennemis : on ne s’y divisera plus par peuples et
par territoires, mais par couleur et par opinion. Et qui peut dire les
crises, la durée, les détails de tant d’orages ? Car l’issue ne saurait
être douteuse, les lumières et le siècle ne rétrograderont pas. » Ici,
c’est le disciple des philosophes qui parle. Et il ne s’agit pas pour
moi de l’en blâmer, ni de l’en louer. Maudire la Révolution est facile.
La supprimer l’est moins. La Révolution est un fait historique dont les
conséquences, ou bienfaisantes, ou malfaisantes, ou réconfortantes,
ou redoutables, continuent et continueront de se développer. La
grandeur de Napoléon, c’est d’avoir compris qu’aux temps où il
venait, il ne pouvait, sous peine d’être très vite et pour jamais vaincu,
même dans l’esprit de son œuvre, qu’utiliser, diriger, ordonner la
Révolution. C’était bien l’avis des monarques et des diplomates
rassemblés à Vienne en 1815, et se congratulant d’avoir tranché la
tête de l’hydre, — car les malheureux le croyaient. Quand ils
apprirent que cet homme avait mis le pied sur le sol de France, une
agitation véhémente s’empara d’eux, comme d’une ménagerie à
l’approche du dompteur. Et cependant il était seul. Et toute la France
et toute l’Europe étaient encore sous les armes. Mais la Révolution,
comme Antée, renaissait en touchant sa mère.

Cette marque constante de la nécessité historique dans l’action

de Napoléon explique ses fautes, et les excuse. Car il n’eût tenu
qu’à lui, s’il n’eût pas été lui, de garder ses deux trônes et de mourir
aux Tuileries dans un fracas d’apothéose. « Personne que moi, a-t-il
dit, n’est cause de ma chute. J’ai été mon principal ennemi, l’artisan
de mes malheurs. J’ai voulu trop embrasser. » Et en effet, là est la
faute qui le perd, mais peut-être sauve le monde. La nouvelle France
est trop vaste, désorbitée par la réunion des Pays-Bas et des villes
hanséatiques. La Russie est trop loin. L’Espagne trop dure. Et tout
cela, songez-y, à la fois. Sa politique est trop ample pour les moyens
dont il dispose, une armée qui s’anémie, s’encrasse d’éléments
étrangers, se décourage, des pions trop éloignés pour qu’il les
aperçoive tous sur l’échiquier géant, des communications trop lentes
pour en atteindre en temps utile les recoins. Tout à la fois. Quand il
marche sur Vienne, il ne veut pas lâcher l’Espagne. Pas même
quand il marche sur Moscou. Il le sent, bien évidemment, mais sa
destinée le déborde. Si en 1809, à la cime de sa puissance,
Cambacérès lui écrit pour lui souhaiter une bonne année : « Pour
que vous puissiez m’adresser le même vœu encore une trentaine de
fois, répond-il, il faut être sage. » Depuis quelques mois, depuis
l’Espagne en effet, alors que jusque-là pas une seule guerre ne peut
être mise à sa charge, on dirait qu’il y a, chez lui, une part de
persécution, que sa méthode de prévenir la guerre en la
commençant s’énerve, et l’y précipite, que le terrain se dérobe sous
lui, qu’il se cramponne à la guerre comme un naufragé à une algue.
Il est le serviteur des destins de l’Europe, condamné à leur obéir.